Vliyanie okisleniya na defektoobrazovanie v legirovannom kremnii: Monografiya (Russian Edition)

V monografii, na osnove provedennykh s pomoshch"yu sovremennykh metodov issledovaniy opredelenna real"naya defektnaya struktura pripoverkhnostnykh sloev kremniya v sisteme Si-SiO2. V rezul"tate poyavleniya mekhanicheskikh napryazheniy i deformatsiy v pripoverkhnostnoy oblasti kremniya obrazovyvaetsya slozhnaya struktura, kotoraya sostoit iz oblasti sil"no razuporyadochennogo kremniya i oblasti, kotoraya soderzhit dislokatsionnye setki. Na osnove modeli pripoverkhnostnykh sloev okislennogo kremniya postroennaya model" tokoperenosa v inversionnom kanale polevykh MOP - priborov. Dannaya model" uchityvaet fakt rasseyaniya nositeley zaryada na dislokatsionnykh bar"erakh, kotorye prisutstvuyut v kanale. Glubokie urovni pripoverkhnostnogo sloya kremniya, obrazovannye granitsami blokov razuporyadochennogo kremniya, vliyayut na balans mezhdu radiatsionnoy chuvstvitel"nost"yu i termopolevoy stabil"nost"yu parametrov dozimetrov pogloshchayushchey dozy ioniziruyushchikh izlucheniy na osnove polevykh MOP – tranzistorov.