V monografii izlozheny rezul"taty matematicheskogo modelirovaniya protsessa obrazovaniya tonkikh plyenok na podlozhkakh (pri razlichnykh temperaturakh i s techeniem vremeni). Rassmotrena matematicheskaya model" proniknoveniya atomov plyenki v glubinu podlozhki. Predstavleny analiticheskie i chislennye resheniya obratnykh zadach, voznikayushchikh pri matematicheskom modelirovanii rosta tonkikh plyenok na podlozhkakh. Izlozheno ekonomiko-matematicheskoe modelirovanie proizvodstva tonkikh plyenok, uchityvayushchee tekhnologiyu ikh proizvostva. Monografiya prednaznachena dlya spetsialistov v oblasti prikladnoy matematiki, fiziki tvyerdogo tela, v opto- i mikroelektronnoy promyshlennostyakh i t.d.