В монографии изложены результаты математического моделирования процесса образования тонких плёнок на подложках (при различных температурах и с течением времени). Рассмотрена математическая модель проникновения атомов плёнки в глубину подложки. Представлены аналитические и численные решения обратных задач, возникающих при математическом моделировании роста тонких плёнок на подложках. Изложено экономико-математическое моделирование производства тонких плёнок, учитывающее технологию их произвоства. Монография предназначена для специалистов в области прикладной математики, физики твёрдого тела, в опто- и микроэлектронной промышленностях и т.д.