Kniga posviashchena rassmotreniiu shirokogo kruga fizicheskikh printcipov, opredeliaiushchikh tekhnologicheskie protcessy izgotovleniia integralnykh skhem radioelektronnoi apparatury вÐ"†tekhnologii polucheniia kremnievykh plastin, ikh oksidirovaniia, diffuzii, ionnogo legirovaniia, litografii, sukhogo travleniia, sborki i germetizatcii gotovykh mikropriborov. Takzhe rassmotreny protcessy formirovaniia tonkikh plenok razlichnymi tekhnologicheskimi metodami. Privedeny osnovnye skhemy tekhnologicheskogo oborudovaniia i osnastki.