The book provides a comprehensive guide to the construction, operation, diagnostics, and applications of electron impact ion sources for the production of highly charged ions. Beside the treatment of elementary processes and ion storage in electron impact ion sources, characteristic diagnostic methods for these sources are described which are related to plasma diagnostics. Related to atomic and solid state physics the use of electron impact ion sources is discussed. Diese Monographie behandelt den Aufbau, den Betrieb, die Diagnostik und Anwendungen von Elektronenstoß-Ionenquellen zur Erzeugung hochgeladener Ionen. Neben der Behandlung von Basisprozessen in den Quellen erfolgt eine umfangreiche Beschreibung von Diagnostikmethoden mit Relevanz zur Ionenquellen- und Plasmadiagnostik.