Рассмотрены физико-химические основы и проанализирован процесс термовакуумной обработки электровакуумных приборов. Приведено описание специфических особенностей магнетрона как электровакуумного прибора для генерирования высокочастотного излучения. Перечислены особые свойстваиспользуемых материалов. Даны характеристики и указано своеобразие операций технологического процесса термовакуумной обработки магнетронов.Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки "Наноинженерия" и "Электроника и наноэлектроника" в рамках дисциплины "Термовакуумные процессы и оборудование". Материал пособия можно использовать студентам и аспирантам соответствующего профиля при выполнении научно-исследовательских работ.