Работа посвящена исследованию влияния структуры поверхности и химического состава поверхности на течение и теплообмен разреженного газа. В книге приведены некоторые результаты по тематике взаимодействия газа с поверхностью. Полученные данные имеют теоретическое и прикладное значение для современных отраслей промышленности, связанных с разработкой и моделированием микро- и наноэлектромеханических систем.