Рассмотрены основные понятия современной физики низкотемпературной плазмы и приведена необходимая информация по процессам ионизации и деионизации в газе и плазме. Элементарные процессы в плазме рассматриваются с точки зрения их роли в плазменных исследованиях и технологиях. Анализируется современное понимание роли тяжелых частиц в ионизационных процессах при тепловых и субтепловых столкновениях в неравновесной плазме. Наряду с классическим примером низкотемпературной плазмы - плазмы положительного столба тлеющего разряда приведены сведения о "новых" направлений исследований пылевой и фоторезонансной плазм. Книга предназначена студентам бакалавриата направлений "Прикладные математика и физика" и "Физика" классических и технических университетов.