Физика гетероэпитаксиальных пленок. Особенности получения наноразмерных пленок сложных оксидов
Цена 7.21 USD
EAN/UPC/ISBN Code
9785914230255
Автор
Сова Е.М.
Издатель
Содействие - XXI век
Страниц
52
Год выпуска
2010
Форма выпуска
60x90/16
- В пособии излагаются основные принципы технологии создания гетероструктур на основе сегнетоэлектриков, обсуждаются различные методы, их достоинства и недостатки. Подробно анализируется метод высокочастотного катодного распыления для получения пленок сложных оксидов. Предназначена для научных работников, преподавателей, аспирантов, студентов физических вузов.