Вакуумная техника. Учебное пособие

Высшее образование: Бакалавриат Рассмотрены основные физико-химические процессы, протекающие в вакууме. Описаны методы измерения низких давлений, принципы действия вакуумных насосов и основные типы вакуумных систем. Лабораторные работы охватывают основные темы курса "Вакуумная техника".