Первые шаги в пьезоактюации
Целью этого издания является введение читателя тезисно, в общих чертах в область пьезоактюации, или пьезомеханики. Многие исследуемые аспекты рассматриваемых пакетных пьезоактюаторов могут быть легко применимы к другим принципам пьезоактюации. Для всестороннего комплексного изучения представленной темы следует обратиться к соответствующей специальной литературе. Данная книга предназначена для инженеров, конструкторов и практических специалистов, работающих в области создания прецизионных устройств, микро- и наномеханических и оптомеханических систем (МЭМС, НЭМС, МОЭМС) в таких областях науки и техники, как оптика, оптоника, фотоника, нанометрология, микробиология, биомедицина и микрохирургия, компьютерная техника, полупроводниковое производство и микроэлектроника, точная механика, автомобильная, авиакосмическая и оборонная промышленность. Книга будет также полезна аспирантам, занимающимися вопросами пьезоэлектрических приводов, студентам соответствующих специальностей вузов, а также всем, кто интересуется современным состоянием развития пьезотехники.