Мир материалов и технологий Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.